羅茨真空泵往復(fù)真空機組特點
由于羅茨真空泵的壓縮比較小，為了使羅茨往復(fù)泵真空機組能達(dá)到更高的真空度和更大的抽氣效率，可采用多臺羅茨真空泵與一臺往復(fù)真空泵串聯(lián)來組成多級羅茨往復(fù)泵真空機組。真空機組的級數(shù)是由工作真空度來決定的，一般真空機組的極限真空必須比工作真空高半到一個數(shù)量級。
羅茨真空泵往復(fù)真空機組中各級羅茨真空泵與往復(fù)真空泵的連接形式及工作范圍可參看表一，在此表中我們列舉了一臺往復(fù)真空泵和一臺至三臺羅茨真空泵串聯(lián)組成的多級真空機組所能達(dá)到的真空范圍。一般一臺羅茨真空泵與一臺往復(fù)真空泵串聯(lián)而成的JZJW型二級機組的極限壓力僅為150~650pa左右，如采用二臺羅茨真空泵串聯(lián)一臺往復(fù)真空泵則機組的極限壓力可達(dá)到5~25pa。如再增加一臺羅茨真空泵則機組的極限壓力可更高，將達(dá)到0.1~0.2pa以上，因而用戶可根據(jù)不同的使用要求來正確選擇機組的級數(shù)。用戶如有特殊要求也可與本公司直接，由本公司相關(guān)技術(shù)人員來選型。
技術(shù)參數(shù)
類 型
型號
抽氣速率
(l/W)
極限壓力
(pa)
機組組成泵型號
配用功率
(kw)
進(jìn)氣口徑
(mm)
排氣口徑
主泵
中間泵
前級泵
JZJW-150.100
150
200
ZJ-150
WLW-100
10.5
100
JZJW-300.150.100
300
10
ZJ-300
14.5
160
JZJW-300.200
WLW-200
19
125
JZJW-600.300.200
600
ZJ-600
20.5
JZJW-600.300
WLW-300
27.5
JZJW-1200.300.200
1200
ZJ-1200
30
250
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