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介紹一下選擇羅茨真空泵的八個著重點
更新時間:2022-10-26  |  點擊率:1326
  羅茨真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到最佳配置,選擇真空系統(tǒng)時,應考慮下述各點:
 
  首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍,必須認真研究確定之。
 
  在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查羅茨真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。
 
  檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應,泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
 
  選擇羅茨真空泵的八個著重點:
 
 ?、殴ぷ鲿r產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
 
  ⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
 
 ?、窃谄涔ぷ鲏簭娤?,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
 
 ?、日_地組設備。由于有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
 
 ?、烧婵赵O備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
 
 ?、收_地選擇工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
 
 ?、伺懦鰜淼挠驼魵鈱Νh(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油型,或者把油蒸氣排到室外。
 
 ?、坦ぷ鲏簭姂摑M足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的極限真空度至少要2mmHg,最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
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